汽车微机电系统传感器焊接方法

微机电系统也称之为MEMS传感器，与传统的传感器相比，它具有体积小、成本低、能耗低、稳定性高、重量轻、易集成和实现智能化的特点， 经过几十年的发展，已成为重大科技领域之一。它涉及广包括电子、化学、生物学、机械、材料、等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。

汽车微机电系统传感器焊接方法

    在众多汽车传感器中，同样会有越来越多的微机电系统应用其中。如压力传感器主要应用在测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力、进气管道压力及轮胎压力。MEMS加速度计 的原理是基于力学定律，主要用于安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等。其中，电容式MEMS加速度计具有灵敏度高、受温度影响小等特点，是MEMS微加速度计 中的主流产品。微陀螺仪是一种角速率传感器，主要用于导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统；应用最多的属于振动陀螺仪，通常，它与低加速度计一起构成主动控制系统。

    微机电系统的广泛应用，强烈需要研究出高精密汽车传感器焊接工艺。 汽车微机电系统芯片多以单晶硅或多晶硅或微硅质量块作为材料，通常称为晶圆。在加以引线焊接，这种引线材质通常为铂金丝，线径从0.02mm到0.3不等。由于芯片尺寸本身很小，在此基础上的焊盘更小通常为0.2至0.6mm区间，要在非常小的焊盘上焊接0.04mm或0.2mm铂金丝有一定的难度，需要找到合适的芯片焊接方法。 

    针对微机电系统芯片焊接工艺，需要高精密设备来实现。设备参数之后就发现，首先焊接电源的控制精度就不够，焊接电源是一个精密设备的重要组成部分。电阻焊工艺是通过电流产生电阻热金属与金属的熔合，这个电流的控制精确程度直接影响焊接效果。其次是焊接机构部分，精度太低 ，电流通过时需要施加相应的压力。压力过大，线可能已经压断但是焊不上，压力过小，也焊不上。这种芯片焊接方法，不止用于铂金丝焊接，其他的如金丝焊接，银丝焊接，钨丝焊接等等都可以应用。